4-12寸桌面式/立式退火炉

型号：RTP-3-04
应用领域：
快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN) …… 薄膜沉积后退火，离子注入退火，电极接触退火，去应力退火，合金化退火，热扩散、致密化，结晶、烧结，氧化制程，低介电材料热处理，化合物半导体退火，多晶硅退火，硅化，热疲劳循环测试，合金熔点分析，耐热性测试，材料制备 ... ...
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