TC-Wafer 校准仪

型号：TC-10/20
应用领域：
TC-Wafer校准仪，专注晶圆温场均匀性测量校准的辅助仪器。目前适配于中国JouleYacht、德国UniTemp、 法国Annealsys、日本AdvanceRiko、美国Allwin21、韩国Ecopia、韩国ULtech等大多数主流厂家生产的RTP相 关设备，特殊情况可定制以适配。
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