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快速退火炉 耗材

型号：碳化硅石墨托盘
应用领域：
采用进口等静压石墨精密制造，可有效提高设备的温度均匀性（以RTP-3-08为例，温度均匀性可以从1.5%提升到1.0%）。
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技术参数
·除标准尺寸外，还可定制用于异形样品的石墨托盘及配套石英托架；
·除适用于本设备外，还可深度定制适用于友商RTP设备的石墨托盘及配套石英托架
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