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快速退火炉 耗材

型号：石英样品托架
应用领域：
采用高纯度石英砂（99.95%）精密制造，高温环境下仍可保持稳定的化学性质。用于承载石墨托盘，也可以直接承载晶圆。
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技术参数
·除标准尺寸外，还可定制用于异形样品的石英托盘；
· 除适用于本设备外，还可深度定制适用于友商RTP设备的石英托架/盘
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