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薄膜综合物性分析测试系统

型号:MPPS-3
应用领域:
薄膜综合物性分析测试系统能方便快捷地测试多种薄膜样品的多个物理性能,且结果非常具有可比性,可以避免因样品尺寸、组成或加热条件等不同环境条件造成的误差。同时,模块化的系统设计可根据实际的测试需求选配部分模块,并且可以随时添加模块以实现更多的功能。 薄膜综合物性分析测试系统可应用于测量具有金属性质及陶瓷或有机物的样品。因此可适用于不同的镀膜方法,例如PVD,CVD或旋涂等。
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技术参数

模块选择

·相变单元
包含高性能的加热及控制系统、送样组件和适用的软件系统。该模块用于测量以下参数:相变温度
·热膨胀单元
采用PID调节与模糊控制相结合形式控制的红外加热方式。该模块用于测量以下参数:热膨胀系数
·热导率单元
采用3ω测试方法,利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率。该模块用于测量
以下参数: 热导率
·热电单元
采用动态法和四线发分别测量样品。该模块用于测量以下参数:Seebeck系数、电阻率
·霍尔效应单元
采用范德堡法测量材料的电运输性能参数。该模块用于测量以下参数:霍尔系数、迁移率、载流子浓度
·变温电阻单元
采用双电发测量高温、真空、气氛条件下样品。该模块用于测量以下参数:电阻、电阻率